Описание
Детали из алюмооксидной керамики используются для изготовления вращающихся деталей в фотолитографических машинах и в вакууме. Это требует чрезвычайно высокой точности обработки, а биение внутренней окружности должно быть в пределах 2 микрон.
Тонкая керамика стала ключевым компонентом полупроводникового оборудования. Особенно в высококлассных литографических машинах, для достижения высокой точности процесса, необходимо широко использовать керамические компоненты с хорошим функциональным составом, структурной стабильностью, термической стабильностью и высокой точностью размеров.Такие как E-chuck, Vacumm-chuck, Block, магнитный стальной скелет с водяным охлаждением, отражатель, направляющая шина и т.д.
Другие высокоточные керамические детали, используемые в полупроводниковой промышленности Прецизионная керамика стала ключевым компонентом полупроводникового оборудования, включая монокристаллические печи, оборудование для ионной имплантации, фотолитографические машины, CVD/PVD оборудование, упаковочное и испытательное оборудование.
