Description
Пневматический подшипниковый брус OAV производится с профильной конструкцией для легкой модернизации существующих или проектирования новых приложений. Он создает равномерно распределенную пленку газа между поверхностью и основанием. Из-за низкой вязкости газа потери на трение в результате вязкого сдвига позволяют избежать механического контакта. Комбинация давления воздуха и вакуума позволяет несущей планке удерживать подложку и одновременно поднимать ее с поверхности, обеспечивая предельную точность и высоту полета. Диапазон высоты полета от 20 до 120 микрон поддерживает стабильность ±5 микрон.
Размер — 1250 мм OAV Air Bar
Номер детали — OAVCB6060
Входное давление — 20,0 psi (137 кПа)
Входное макс. Давление — 40,0 фунтов на кв. дюйм (275,7 кПа)
Высота мушки — 80 микрон (0,0032 дюйма)
Диапазон высоты полета — 20-120 микрон (0,0008-0,0047 дюйма)
Жесткость — 0,04 Н/микрон
Стабильность высоты — ±5 микрон
Скорость потока — 0,63 SCFM
Вакуумный поток — 0,43SCFM
Ширина воздушной шины OAV Air Bearing — 60 мм
OAV Air Bearing Высота воздушной планки — 57 мм
Длина воздушной шины OAV Air Bearing Air Bar — 1250 мм
Материал/отделка корпуса — алюминиевый сплав A6N01SS-T5 / синее анодирование
Материал пористой среды — углерод
Плоскостность — 0,025 мм (0,001 дюйма)
Вес — 2,13 кг (4,7 фунта)
