Описание
Вакуумная система нанесения покрытий G4000MR — это серийная установка, предназначенная для получения равномерных отражающих и защитных покрытий на крупногабаритных оптических изделиях, включая астрономические первичные зеркала.
Техника и технологии
Конфигурация установки и особенности процесса нанесения покрытий разработаны специально для обработки изделий диаметром до 4 м с помощью небольших магнетронов с программным управлением, движущихся по расчетной траектории с регулируемой скоростью. Скорость движения магнетронов и скорость вращения зеркала согласованы для достижения исключительно равномерной толщины покрытия. Зеркало располагается лицевой стороной вниз и поворачивается несколько раз в течение цикла.
Установка G4000MR предназначена для нанесения отражающих покрытий на алюминий, серебро и другие металлы. Слой оксида кремния, нанесенный поверх отражающего покрытия, обеспечивает износостойкие защитные свойства стопы покрытий. Перед нанесением покрытия поверхность зеркала подвергается плазменной обработке с помощью подвижного источника ионов для обеспечения хорошей адгезии. Осаждение покрытия осуществляется с помощью процессов металлического и реактивного магнетронного распыления. Питание круговых магнетронов осуществляется от импульсных источников постоянного тока. Для управления скоростью осаждения растущей тонкой пленки используются устройства на основе составных кварцево-кристаллических резонаторов.
Вакуум, необходимый для нанесения покрытий, обеспечивается рефрижераторными крионасосами и турбонасосом, соединенными с воздуходувкой Рутса и насосами сухого сжатия.
Система управления обеспечивает полную автоматизацию процесса.
Установка и процесс нанесения покрытий могут быть адаптированы к требованиям конкретного заказчика.
Подложка: крупногабаритные астрономические стеклокерамические зеркала
Диаметр подложки: до 4 м
Количество подложек: 1 шт.
