Description
Многофункциональные инструменты научно-исследовательского кластера SAF
Приложение
Многофункциональный кластерный инструмент SAF25/50 предназначен для проведения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, а также для подготовки технико-экономических обоснований и более общих научных работ в области тонкопленочных технологий.
Техника и технология
Инструмент представляет собой многофункциональную, расширяемую, модульную и гибкую систему. Инструмент состоит из камеры ввода-вывода с ионной пушкой, центральной камеры переноса подложки с радиальным телескопическим транспортным рычагом и до 7 камер осаждения. Подложка располагается горизонтально на держателе. Зоны осаждения сконфигурированы для поворота или смещения подложки в процессе осаждения вверх.
Многофункциональность и гибкость инструмента основана на следующих ключевых особенностях:
— Каждая камера может работать независимо, благодаря индивидуальным средствам откачки, управления и подключения к коммуникациям.
— Камеры осаждения и источники осаждения взаимозаменяемы.
— Центральная камера переноса предотвращает перекрестное загрязнение и обеспечивает перенос подложек без вентиляции камер.
— Возможна интеграция различных типов источников осаждения, включая сублимационные термоэлементы, резистивные лодочки, тигли и магнетроны для распыления.
— Сдвоенные, одинарные и двойные магнетроны могут питаться от источников постоянного тока, импульсного постоянного тока, МП и ВЧ.
— Предлагается контактное и бесконтактное охлаждение и нагрев подложки.
— Возможна установка перчаточного бокса для загрузки подложки в атмосфере инертного газа и магазина подложек.
— Предварительно согласованное количество заглушенных фланцев, установленных на камерах, позволяет крепить индивидуальные приборы и технологические аксессуары.
