Description
Рулонная машина P600MR предназначена для получения однородных односторонних покрытий на полимерных пленках. Эти установки легко модернизируются в соответствии с требованиями заказчика и обеспечивают нанесение как однослойных, так и многослойных покрытий для сенсорных панелей, ЖК-дисплеев, солнечных батарей и материалов для управления солнечными батареями. Они также могут использоваться для нанесения толстых проводящих металлических слоев для FPCB.
Техника и технологии
Односторонние покрытия осаждаются в трех изолированных отсеках с технологическим барабаном в каждом из них. Система нагрева/охлаждения технологических барабанов позволяет значительно расширить функциональные возможности установки.
Многокамерная конструкция камеры с раздельной откачкой обеспечивает необходимую разницу давлений между соседними зонами напыления. Вертикальная подача подложек обеспечивает отсутствие частиц на поверхности осаждения.
Особое внимание компания SIDRABE уделяет предварительной обработке поверхности пленки: сначала пленка проходит сушку в вакуумной сушильной машине C2P670, а затем плазменную обработку в установке для нанесения покрытий.
В зависимости от требуемого процесса мы предлагаем различные комбинации магнетронов, например, двойные или одинарные, цилиндрические или планарные, с питанием от источников постоянного, импульсного постоянного или переменного тока. Целевыми материалами могут быть металлы или керамика.
Поточный контроль параметров пропускания и отражения покрытия после каждой зоны осаждения обеспечивает точность свойств каждого осажденного слоя.
Поточный контроль сопротивления листа осуществляется четырехзондовым методом на двух контактных роликах.
Многоканальный плазменно-эмиссионный спектрофотометр и многосекционные коллекторы подачи газа обеспечивают контроль процесса осаждения и равномерность покрытия.
