Description
Микроскоп силы электростатического поля 1100TN трека модельный (EFM) включает измерения распределения напряжения тока с очень высоким пространственным разрешением лучшим чем 10μm которое хорошо вн е возможности типичных электростатических вольтметров. EFM трека может также измерить распределение напряжения тока через гораздо больше поверхностную область по сравнению с просматривая микроскопом зонда работанный под атмосферическими условиями. EFM трека использует напряжение тока обратной связи к детектору который равен к измеренному напряжению тока таким образом предотвращая образовывать дугу между детектором и поверхностью под тестом.
Ключевые спецификации
Ряд напряжения тока: ±1 kV
Чувствительность напряжения тока:
Точность: Лучше чем 0,5% из в натуральную величину
Лучше чем 100 mV
Дифференциальный шаг: 1 µm, минимальное (детектор)
Подсказка детектора: 5 µm µm x 5
Зона измерения: 5 mm x 5 mm
Типичные применения включают
Измерение антистатических пакетов, вафля Si
Испытание материала электрофотографии
Фотовольтайческая оценка материалов
Испытание MEMS
Особенности и преимущества
Смогите быть использовано в условиях атмосферы
Пространственное разрешение лучшее чем μm 10
3 режима измерения:
— Статический
— Линия профиль
— составлять карту 3D
