Description
Треки моделируют 645 управляемая программн электростатическая поставка цыпленка предлагает массив особенностей которые обеспечивают значительные преимущества пока приспосабливающ разнообразие требовательные применения. Документированная польза показывает что клиенты видели повышения эффективности и объема равных ко три раза этой из других поставок. Дополнительно, модельные 645 виртуально исключают липкую вафлю и вопросы вафли хлопая, таким образом обеспечивающ лучший контроль над загрязнением частицы.
Данный многосторонность и представление модельные 645, его можно использовать во множественных уникальных инструментах/процессах, таким образом исключающ потребность определить новую поставку для каждых уникальных инструмента/процесса в объекте.
Ключевые спецификации
Фазировать выхода:
Напряжение тока a (участок ссылки): 0 к ±2 kV
Напряжение тока b (участок b = [- 1] x участок a): 0 к ±2 kV
Ряд напряжения тока выхода: 0 к ±2 kV
Ряд течения выхода: 0 к DC мам ±6.5 с пиковой возможностью 10 мам
Типичные применения включают
управляемая Электростатическ регуляция материалов
Обработка вафли полупроводника
Немеханическая передача индикаторных панелей или других обрабатывая материалов чувствительных к механическому клиппированию
Особенности и преимущества
Поддерживает и технологии ESC Coulombic и Johnsen-Rahbek
Потребитель конфигурируемый для изготовленной на заказ струбцины и последовательностей и форм волны declamp
Электростатические профили цыпленка можно загружать к блоку и сохранить внутренне через дружественный программный интерфейс
Документированное уменьшение ошибок газа задней стороны, увеличенного объема, и исключения липких/хлопая вафель
Lockable фронт — интерфейс управлением панели
Способность к параметрам контроля как пороги перегрузок по току, вафл-присутствующих и вафл-зажатого, напряжение тока струбцины,
