Описание
Отростчатое Sense™ соответствующе для определять завершение чистки камеры плазмы, в полупроводнике и камерах низложения. Анализатор давления уменьшает размывание камеры, должное к overcleaning. В результате, обслуживание жизни камеры продленно.
Прибор конструирован от ультракрасной абсорбциы, которая эффективна для всех деятельностей чистки плазмы. Он предложен в полных наборах подъема, для инструментов CVD AMAT.
Его можно использовать в различных применениях включая окиси кремния, нитриды кремния, polysilicon и в силане или процессах TEOS.
