Description
Наша стандартная система нанопроб с 4 или 8 манипуляторами с замкнутым контуром.
SMARPROBE SP4 — это система зондирования с 4 манипуляторами, а SMARPROBE SP8 — с 8 манипуляторами. Каждый из манипуляторов имеет 3 степени свободы и оснащен оптическими энкодерами с нанометровым разрешением для высокоточного электрического зондирования. Интеллектуальные процедуры позиционирования, реализованные в специальном управляющем программном обеспечении, и возможность загрузки до четырех шлейфов образцов SEM повышают удобство работы и общую производительность при выполнении любых задач нанозондирования. Прочная механическая конструкция обеспечивает высочайшую стабильность и простоту эксплуатации. Зондирующие системы совместимы с широким спектром FIB, SEM и оптических микроскопов и, таким образом, идеально подходят для модернизации существующих зондовых установок и для интеграции в новые приборы. Системы контактных измерений SMARPROBE позволяют применять методы определения электрических характеристик от 2-контактных EBIC/EBAC до 4- и 6-точечных контактных измерений, что делает SMARPROBE незаменимым инструментом для лаборатории анализа отказов.
Манипулятор с креплением зонда — XYZ с замкнутым контуром
Количество манипуляторов — ≤ 4 / ≤ 8
Стадия образца — XYZ с замкнутым контуром
Управление — Point & Click, джойстик
Зондирующая область [мм] — 25 x 25
Диапазон сканирования в XYZ1 [мкм] — 3
Тепловой дрейф2 [нм/мин] — 1 — 10
