Описание
Керамические горячие плиты из нитрида кремния могут быть изготовлены с наружным диаметром 400 мм. В пределах этого диаметра возможны любые прямоугольные формы, нестандартные формы и отверстия. Типичная высота пластин составляет 5 мм, а с интегрированным каналом охлаждения — около 15 мм. Особые свойства и малая масса керамического материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления. По сравнению с металлом поверхность керамики остается ровной благодаря низкому тепловому расширению даже при работе с быстрыми изменениями температуры. Высокая прочность горячепрессованного нитрида кремния гарантирует высокую стрессоустойчивость (например, при высоких нагрузках) и отличную износостойкость. Горячие пластины очень хорошо подходят для сложных процессов в системах обработки полупроводников.
Индивидуальный дизайн
Наши собственные разработки делают любые изменения размеров, конфигурации или характеристик простыми и удобными. В конструкцию могут быть добавлены отверстия для крепления кронштейнов и отверстия для датчиков температуры. Также могут быть добавлены вырезанные лазером вакуумные канавки. Наши горячие пластины поставляются уже отшлифованными, однако в соответствии с конкретными требованиями их можно дополнительно отшлифовать до плоскостности < 10 мкм. Кроме того, наш керамический нагревательный проводник с индивидуальным дизайном позволяет интегрировать несколько зон нагрева. В него можно легко встроить устройства для компенсации тепловых потерь и внутренний тестовый вывод для измерения температуры. Для работы в высоком вакууме при температурах до 1 000 °C может поставляться штыревой контакт. В нескольких проектах заказчиков мы интегрировали функцию охлаждения, которая может быть реализована с помощью модуля охлаждения со встроенными каналами.
