Description
SiBrickScan (SBS) является FTIR oнлайн системой для количественного определения внутрипорового кислорода в целых слитках кремния, точный профиль концентрации вдоль продольной оси. Получение информации без распиливания пластин или прочей подготовки образцов для испытаний является основным преимуществом и большой экономией: анализируйте отдельные слитки перед распиливанием и оптимизируйте процесс кристаллизации Si! r
r
Уникальные особенности SBS:r
• Высокая чувствительность, достижимый предел обнаружения кислорода < 2 ppma r
• Высококачественная калибровка, базирующая на ASTM/SEMI 1188r
• Доступно для квадратных и цилиндрических слитков различных диаметровr
• Инновационная высокочувствительная траектория луча и встроенный эталонный образецr
• Интуитивный и удобный пользовательский интерфейсr
• Автоматизированная оценка данныхr
• Индустриальный прочный дизайн с точным линейным приводомr
• ИК Детектор, нет необходимости в жидком азоте
