Описание
Производителям полупроводников необходима возможность непрерывной проверки чистоты технологических газов в режиме реального времени и обнаружения следов загрязнения при концентрациях с низким уровнем частей на триллион (ppt). Мониторинг широкого спектра газов и газовых смесей со стабильностью, обеспечивающей долгосрочную повторяемость, необходимую в большинстве приложений. Спросите о нашем APIMS SX5 с возможностью переключения потоков.
-Элегантное переключение потоков для мониторинга сыпучих газов сверхвысокой чистоты
Многовидовой мониторинг в режиме реального времени для ВСЕХ критических
Примесей в объемных электронных газах, включая следы O2,
H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar и др
— НОВИНКА! Дополнительная возможность автоматического переключения потоков
с помощью газового шкафа SX5 с переключателем потоков.
Автоматическое переключение между пятью насыпными газами!
— Беспрецедентный диапазон измерений от PPT до 100% благодаря уникальной конфигурации ионизации с двумя источниками
— Простота в использовании благодаря встроенному пользовательскому интерфейсу и автоматическим калибровкам по расписанию
— Лучшая в отрасли служба поддержки клиентов и команда специалистов по применению
