Описание
Генераторы TruPlasma серии MW базируются на технологии полупроводников и имеют намного более высокую точность поддержания частоты, чем микроволновые генераторы на базе магнетронов. Инновационная платформа позволяет более эффективно и рентабельно получать плазму максимальной плотности с соблюдением самых строгих требований к технологии. Кроме того, модульная система позволяет точное линейное измерение мощности на выходе. При этом энергопитание отличается стабильностью и это не оказывает негативного влияния на качество процесса. В производстве полупроводников, солнечных батарей и дисплеев TruPlasma серии MW показывает наилучший результат и максимальную надежность благодаря самым современным функциям.r
Точное и быстрое формирование импульсаr
r
Инновационная подача импульсов в наносекундном диапазоне обеспечивает наилучший технический контроль производства плазмы.r
Продуманная автоматическая настройка частотыr
r
Автоматическая настройка по частоте гарантирует оптимальный результат и высокую воспроизводимость.r
Синхронные фазыr
r
В многоантенных системах могут синфазно работать и запускаться импульсами различные генераторы. Колебание соотношений фаз между отельными генераторами позволяет добиться однородности плазмы на большой площади.r
Прочная конструкцияr
r
Положитесь на надежную работу генераторов — даже при неверной регулировке качество процессов не ухудшится.
