Описание
Контроллеры и измерители массового расхода, которые измеряют массовый расход, меньше подвержены влиянию температуры и давления по сравнению с механическими расходомерами и клапанами, и могут обмениваться информацией о расходе электрическим способом. Они используются в широком спектре процессов и оборудования в областях, где требуется высокий уровень точности, повторяемости, быстроты реакции и экономичности, таких как полупроводники, оптические волокна, различные анализы, топливные элементы, жидкие кристаллы, органическая электролюминесценция, биотехнологии, продукты питания, измерение параметров окружающей среды, контроль сгорающих газов, оборудование для заводов и экспертизы.
■Применяемый газ: N₂, воздух, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ и т.д.
■Диапазон расхода: 10SCCM～50SLM
■ Точность：±3～5%F.S.
