Описание
Семейство TC 2000 обеспечивает точный контроль температуры прекурсоров во время обработки, гарантируя стабильное давление пара
— Фронтальная загрузка
— Предварительно оборудован для автоматического пополнения
— Совместим с большинством стандартных промышленных ампул
— Поддерживает кварцевые контейнеры объемом 1,5 л
— Гибкие конструкции
Краткое описание продукта
— Три температурных диапазона
— Три аппаратные конфигурации
— Автономный
— Удаленная электроника
— Монтаж в стойку
