Description
Материалы для позитивной сухой и иммерсионной визуализации, а также проявки негативного тона (NTD)
Широкий спектр систем визуализации высокого разрешения для облучения на длине волны 193 нм, включая позитивную сухую и иммерсионную визуализацию и проявление негативного тона (NTD)
— Высокая пропускная способность
— Превосходное разрешение
— Широкие технологические окна
— Низкий уровень дефектов
— Вертикальные профили
— Серия GAR
Продукты серии GAR подходят для работы с широким спектром приложений, требующих сухого облучения на 193 нм
— Серия FAiRS для PTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения при 193 нм и развития положительного тона
— Серия FAiRS для NTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения 193 нм и развития негативных тонов
