Описание
Обработка пластин | Как производятся кремниевые пластины? Прежде чем производить полупроводники, кремний должен быть превращен в кремниевые пластины. Это начинается с выращивания кремниевых слитков. На выращивание кремниевого слитка может уйти от недели до месяца, в зависимости от многих факторов, включая размер, качество и технические характеристики. Давайте подробнее разберемся, как обрабатываются кремниевые пластины и как они производятся.
Выращивание слитка
Чтобы вырастить кремниевый слиток, первым шагом является нагрев кремния до 1420°C, что выше температуры плавления кремния. После того как поликристаллическое вещество и легирующие добавки разжижаются, поверх расплава выкладывается один кристалл кремния — затравка, которая едва касается поверхности. Семенной кристалл имеет ту же ориентацию, которая требуется для готового слитка.
срез
Когда слиток полностью выращен, его шлифуют до грубого диаметра, немного превышающего диаметр конечной кремниевой пластины. После нескольких проверок слиток поступает на срез. Из-за твердости кремния алмазная дисковая пила аккуратно разрезает кремниевые пластины, делая их немного толще, чем задано в спецификации.
чистый
Последний и самый важный этап производственного процесса — полировка пластины. Этот процесс осуществляется в чистой комнате. Для поддержания чистоты работники должны носить чистую одежду, закрывающую все тело с головы до ног, не собирающую и не переносящую никаких частиц. Кроме того, они стоят под вентилятором, который сдувает все мелкие частицы, которые могли скопиться до того, как они вошли в комнату.
