Описание
Phoenix Ultima, система АОИ последнего поколения компании CIMS, предназначена для поддержки крупносерийного производства подложек ИС. Она способна выполнять сканирование по технологии с шириной линии/пространства до 4 мкм.
Современная оптическая технология Prisma™ разработана для обеспечения гибкого светового покрытия с максимальным контрастом, чтобы поддерживать получение изображений высокого разрешения при высокой скорости сканирования. Оптимизированная производительность достигается за счет сочетания четкого изображения высокого разрешения с настраиваемыми алгоритмами обнаружения.
Оснащенные современным оборудованием для получения изображений и передовым программным обеспечением, продукты семейства Phoenix известны своей исключительной эффективностью обнаружения при минимальном количестве ложных срабатываний.
Phoenix Ultima работает на базе Spark™ — инновационного кроссплатформенного механизма обнаружения.
Основные характеристики
-Линейные двигатели для плавного и бесшумного движения
-Надежная механическая конструкция
-Автоматизированный вакуумный стол
-Высокопроизводительная микропрограмма обработки изображений
-Компьютер нового поколения для обработки больших данных
-Быстрая и интуитивно понятная настройка для новых рабочих мест
-Совместимость с передней/задней автоматикой AMHS или роботом
Опции
-Fi — возможность окончательного контроля готовых плат
-+2DM метрология — измерение размеров панелей
-+2CD метрология — 2D измерение элементов схемы
-+3DH метрология — 3D измерения высоты элементов схемы
-+3DP метрология — 3D профилирование элементов схемы
-LDI — возможность контроля лазерным сверлом
-CDB/CDBIC — классификация дефектов и виртуальное отображение дефектов
-VVS — система виртуальной верификации
