Описание
Монитор толщины пленки с визуализацией — это метрологический инструмент, который может визуализировать распределение толщины прозрачной многослойной пленки.
Он может визуализировать распределение толщины пленки с разрешением 0,1 нм с помощью спектроскопической рефлектометрии.
Визуализация равномерности толщины пленки
Измерьте толщину/качество пленки в поле зрения микроскопа, покажите 3-D распределение
Разрешение толщины пленки : <0,1 нм
Хорошее разрешение по толщине, эквивалентное инструментам спектрометрии.
Длина волны может быть выбрана от 450 нм до 750 нм с точностью 1 нм.
Высокая скорость / Многослойное измерение до 9 слоев
Параллельная обработка с помощью спектроскопической рефлектометрии
Расширенные возможности применения
① Несколько сотен повторяющихся пленок, таких как полосовые интерференционные фильтры и составные многослойные пленки, такие как траншейные структуры
② Оценка плотности субмикронной структуры с использованием приближения эффективной среды (EMA)
③ Оценка кристалличности локальной области, например, лазерный отжиг
