Description
Устройство для картирования пластин способно автоматически измерять толщину пленки по всей поверхности пластин размером до 300 мм. Функция автоматического выравнивания, функция самокалибровки и вафельный патрон с высокой плоскостностью обеспечивают высоконадежное измерение толщины пленки. Это устройство используется в сочетании с компактным монитором толщины пленки.
Он может быть установлен на загрузочном отверстии оборудования для производства полупроводников для контроля толщины пленки на производственном оборудовании при сохранении чистоты.
1 Возможно автоматическое картографическое измерение толщины пленки на пластинах до 300 мм
2 Функция автоматического выравнивания
3 Функция автоматической калибровки
4 Повышенная надежность измерений на поверхности пластины благодаря использованию патрона с высокой плоскостностью
5 Поддерживает автоматизацию
6 Установка загрузочного порта
