Описание
Новое поколение программного обеспечения для эллипсометрии появилось благодаря CompleteEASE®, нашему революционно новому программному обеспечению для эллипсометров Woollam. Оно проще, чем когда-либо, в использовании и обладает качеством мирового класса, которое вы привыкли ожидать от компании Woollam. CompleteEASE входит в комплект поставки систем M-2000, RC2, iSE, theta-SE и alpha-SE.
CompleteEASE® — это комплексный пакет программного обеспечения для решения всех ваших задач по эллипсометрии. Удобное измерение однородности образцов с помощью автоматизированного картирования образцов. Собирайте данные in-situ с помощью спектроскопической эллипсометрии на вашей технологической камере или с помощью дополнительной ступени контроля температуры или жидкостной ячейки. Все ваши потребности в сборе данных объединены в одном простом в использовании пакете программного обеспечения.
Создавайте собственные рецепты для сбора данных, автоматизируйте картирование и анализируйте образцы — все в одном шаге. Удобство и простота сочетаются в кнопочном управлении.
CompleteEASE® включает встроенные модели, охватывающие широкий спектр типичных образцов. Встроенные модели удобно описывают, как обрабатывать данные для определения свойств тонких пленок. CompleteEASE также включает более 400 файлов материалов и дисперсионных уравнений для подхода к широкому спектру тонких пленок — от диэлектриков и органики до полупроводников и металлов.
CompleteEASE Thickness Pre-Fit быстро и автоматически находит наилучшую толщину, соответствующую данным, используя специальный запатентованный алгоритм. Исключите догадки, когда номинальная толщина пленки неизвестна.
Слой B-сплайнов был разработан в CompleteEASE как альтернатива прямым подгонкам или осцилляторным моделям.
