Description
Theta-SE — это кнопочный спектроскопический эллипсометр для определения однородности тонких пленок. Он оснащен передовыми приборами эллипсометрии в компактном корпусе по доступной цене.
Полностью интегрированный
Theta-SE оснащен 300-миллиметровым образцом, измерительным лучом с малым пятном, быстрым выравниванием образца, обзорной камерой и нашей новейшей технологией эллипсометра Dual-Rotation. Theta-SE имеет все необходимое для измерения пространственной однородности толщины пленки и оптических свойств.
Высокая скорость
Пропускная способность оптимизирована за счет использования быстрого перевода из точки в точку, высокоскоростного выравнивания образца и технологии эллипсометра Dual-Rotation для непрерывного сбора данных.
Компактный
Запатентованный вращающийся каскад Dual-Theta обеспечивает полное картирование с расстояния 300 мм в небольшом настольном приборе. Площадь прибора лишь немного больше 300-миллиметровой пластины.
Удобство для пользователя
Автоматизированный анализ данных и встроенная система отчетов обеспечивают кнопочное управление и быстрый доступ к результатам измерений.
Доступный по цене
Theta-SE предоставляет возможности спектроскопической эллипсометрии и картирования однородности на расстоянии 300 мм по разумной цене.
