Описание
Конструкция RC2® основывается на 25-летнем опыте. Она сочетает в себе лучшие характеристики предыдущих моделей с инновационными новыми технологиями: двойные вращающиеся компенсаторы, ахроматическая конструкция компенсатора, усовершенствованный источник света и конструкция спектрометра нового поколения. RC2 является практически универсальным решением для разнообразных применений спектроскопической эллипсометрии.
Расширенные возможности измерений
RC2 является первым коммерческим спектроскопическим эллипсометром, который собирает все 16 элементов матрицы Мюллера. Матрица Мюллера SE позволяет характеризовать самые современные образцы и наноструктуры.
Наилучшая точность измерений
Расширенные возможности измерения обеспечивают наилучшую точность быстрой эллипсометрии на основе ПЗС.
Двойные вращающиеся компенсаторы
Синхронное вращение двух компенсаторов обеспечивает высокую точность, высокую скорость и полноту измерений по матрице Мюллера.
Ахроматическая конструкция компенсатора*
Новая конструкция ахроматического компенсатора с оптимизированными характеристиками в широком спектральном диапазоне. *заявка на патент
Широкий спектральный диапазон
Собирайте более 1000 длин волн от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона — все одновременно.
Высокая скорость измерений
Синхронная работа обоих компенсаторов позволяет получать высокоточные данные без ожидания «зонального усреднения» по оптическим элементам. Сбор всего спектра (более 1000 длин волн) одновременно за доли секунды.
Усовершенствованный «двойной» источник света
Двойной источник света для расширенного спектрального диапазона с компьютерным контролем интенсивности луча. Автоматическая оптимизация сигнала на любом образце (с низким или высоким уровнем отражения).
