Описание
LiquidLens™ LLD2 Система дегазации UPW UPW
UPW дегазация для иммерсионных литографов
Система LiquidLens LLD2 обеспечивает стабильность и чистоту жидкостной линзы за счет снижения содержания растворенного газа и контроля качества UPW
Постоянно поддерживает заданную температуру и уровень давления на выходе UPW потока
Обеспечивает безопасность процесса и машины с помощью сигнализаторов безопасности и датчиков утечки
Обеспечивает мониторинг в режиме реального времени критических параметров инструмента и центральной системы мониторинга клиентов.
