Description
« Газовые фильтры NF-30 Wafergard® III встроенные
Главная частичная фильтрация для ultrapure фильтрации системы газа
Самый чистый, большинств эффективные цельнометаллические фильтры доступные
Запатентованная мембрана фильтра никеля предлагает главную коррозионную устойчивость и превосходную совместимость с инертными и реактивными газами. (Не порекомендовал для пользы с CO, O3 и низкоуровневыми газами dopant гидрида.)
Идеал для применений высокой температуры и скоростного напора
Типично использованный для подач до 30 SLPM
Материалы:
Патрон фильтра: Запатентованный, спеченный фильтр мембраны никеля.
Снабжение жилищем: Снабжение жилищем нержавеющей стали Electropolished F20
Поверхностный интерьер финиша: Ра μin =5
Оценка утечки гелия: Квалифицированный 2′ 10-10 atm-cc /sec. Испытанный 1′ 10-9 atm-cc /sec.
Идущая дальше по потоку чистота:
Particles1: Меньше чем 0,03 частицы /Liter (μm =0.003
Эксплуатационные режимы:
Максимальное входное давление: бар 70 (1000 PSI) на 100°C
Максимальный перепад давления препровождайте /reverse: бар 10 (150 PSID)
Максимальная рабочая температура: Инертные газы 400°C на баре 35 (500 PSI), Въедливые и реактивные газы: 50°C на 70 1000 PSI) бара ( /html»
