Description
« Отражетель газа Chambergard™ II Макс
Высокообъемное сквозное и быстрое суфлирование к отражетелю газа атмосферы
Снабжает высокообъемный объем и быстрое суфлирование атмосфера
Удаление µm частиц большего чем 0,003 от входящего газа уменьшает дефекты на вафлях
Порекомендованный для плоского экрана и фотовольтайческих индустрий
Материалы:
Мембрана: PTFE
Поддержки: PFA
Крышка приспособления /mesh: нержавеющая сталь 316L
Оценка удаления:
удаление ≥ 99,9999999% частиц µm ≥ 0,003 в газе
Идущая дальше по потоку чистота:
Чистота 0,01 µm
Максимальное дифференциальное pressure1:
бар 2,5 (максимальное входное давление бар 1,4 когда государство глубокого вакуума)
Максимальное работая temperature2:
120ºC (248ºF)
Гарантия:
3 года или 1 000 000 cycles3
Примечание:
комнатная температура 1at и в инертных газах
инертные газы 2in
комнатная температура 3at, в инертных газах и bar ≥ 5 перепада давления /html»