Description
Выравниватель масок OAI Model 200 — это экономичный высокопроизводительный выравниватель масок, разработанный с использованием проверенных в отрасли компонентов, которые сделали компанию OAI лидером в отрасли капитального оборудования для фотолитографии. Модель 200 — это настольный выравниватель масок, требующий минимального пространства в чистом помещении. Она представляет собой экономичную альтернативу для научно-исследовательских работ или ограниченного масштаба опытного производства. Используя инновационную систему выравнивания с воздушным подшипником и вакуумным патроном, подложка выравнивается быстро и аккуратно, обеспечивая параллельное выравнивание фотомаски и равномерный контакт по всей пластине во время контактного экспонирования. Система способна обеспечить разрешение в один микрон и точность выравнивания.
Модуль выравнивания оснащен наборами вставок для масок и быстросменными патронами для пластин, которые облегчают использование различных подложек и масок, не требуя специальных инструментов для перенастройки. В модуль выравнивания встроены микрометры для осей X, Y и Z.
Выравниватель масок модели 200 оснащен надежным источником ультрафиолетового света OAI, который обеспечивает коллимированное ультрафиолетовое излучение в ближнем или глубоком ультрафиолете с использованием ламп мощностью от 200 до 2000 Вт. Двойные датчики, оптические контуры обратной связи связаны с регулятором постоянной интенсивности для обеспечения контроля интенсивности облучения в пределах ±2% от желаемой интенсивности. Изменение длины УФ-волны может быть произведено быстро и легко. Этот выравниватель масок является гибким и экономичным решением для любого приложения начального уровня для выравнивания масок и УФ-облучения.
