Description
Столкнувшись с предприятиями по производству сырья в верхней части цепочки полупроводниковой промышленности, независимо разработанная спектральная конфокальная измерительная система используется для определения размера и плоскостности полупроводниковых сырых и эпитаксиальных пластин.
Преимущества продукции:
Широкий диапазон применения
Используется для 4-8 дюймовых исходных пластин, подложек и эпитаксиальных пластин из различных материалов и условий полировки
Высокая точность измерения
Диапазон толщины: 0-1 мм Точность измерения: ± 1 мк М Точность повторения: 0,2 мк м
Короткое время измерения
Время измерения: 30 с / PCS (в соответствии с траекторией обнаружения клиента)
