Описание
Для средних предприятий по производству полупроводниковых пластин и последующих упаковочных и испытательных предприятий в цепи полупроводниковой промышленности используется многоканальная система параллельного обнаружения в светлом и темном поле, разработанная самостоятельно, для обнаружения дефектов внешнего вида полупроводниковых пластин и зерен с графикой.
Преимущества продукта:
Доступны различные размеры
Это оборудование может использоваться для 4-8-дюймовых пластин с рисунком
Может обнаруживать различные дефекты
Обнаружение таких дефектов, как царапины, обратное разрушение, разница в цвете, трещины, царапины, остатки металла и потеря металла
Высокоточное разрешение
Разрешение системы: 0.2-0,8 мкм
Быстрая скорость обнаружения
Пластины с узором: 15 минут / пластина, если количество дефектов менее 200
