Описание
Модель SU8600 открывает новую эру сканирующих электронных микроскопов со сверхвысоким разрешением с холодной эмиссией поля в давно существующей линейке ЭМ-микроскопов Hitachi. Эта революционная платформа CFE-SEM включает в себя многогранную визуализацию, автоматизацию, повышенную стабильность системы, эффективные рабочие процессы для пользователей с любым уровнем опыта и многое другое.
Сверхвысокое разрешение
Высокояркий источник эмиссии холодного поля Hitachi обеспечивает получение изображений с ультравысоким разрешением даже при сверхнизком напряжении.
Слева: частица цеолита типа RHO при низком напряжении. Чтобы выявить тонкую ступенчатую структуру на поверхности, изображение было получено при напряжении посадки 0,8 кВ. Это позволяет четко увидеть очень тонкую структуру поверхностных ступеней (изображение справа).
Интеллектуальная система обнаружения для низковольтной BSE визуализации
Изображение поперечного сечения 3D NAND,
Оксидный слой и нитридный слой конденсатора легко различимы на изображении благодаря возможности обнаружения BSE.
Быстрая визуализация BSE: новый кристалл типа BSED (OCD) с выносным столбом
Благодаря использованию нового кристалла типа Out-Column BSED (OCD)* время получения изображения составило менее ОДНОЙ СЕКУНДЫ, при этом хорошо видны межслойные соединения нижнего уровня и структура Fin FET в SRAM.
Улучшенный пользовательский опыт с усовершенствованной автоматизацией
Программная опция «EM Flow Creator» позволяет пользователям настраивать повторяющиеся последовательности операций РЭМ.
Различные функции РЭМ могут быть собраны в окне EM Flow Creator методом перетаскивания, а затем сохранены как рецепт для последующего использования.
После настройки рецепта автоматический сбор данных в заданных условиях может быть выполнен с высокой точностью и повторяемостью.
Гибкий интерфейс
Конфигурация с двумя мониторами обеспечивает гибкое и высокоэффективное рабочее пространство.
