Описание
Модель SU8700 открывает новую эру сканирующих электронных микроскопов со сверхвысоким разрешением с полевой эмиссией Шоттки в давно известном модельном ряду Hitachi EM. Эта революционная платформа FE-SEM включает в себя многогранную визуализацию, высокий ток зонда, автоматизацию, эффективные рабочие процессы для пользователей с любым уровнем опыта и многое другое.
Сверхвысокое разрешение
Высокояркий источник холодной полевой эмиссии Hitachi обеспечивает получение изображений со сверхвысоким разрешением даже при сверхнизких напряжениях.
Слева: частица цеолита типа RHO при низком напряжении. Для выявления тонкой ступенчатой структуры на поверхности изображение было получено при напряжении посадки 0,8 кВ. Благодаря этому хорошо видна очень тонкая структура ступенек на поверхности (изображение справа).
Интеллектуальная система обнаружения для низковольтной BSE-визуализации
Изображение поперечного сечения 3D NAND,
Оксидный и нитридный слои конденсатора легко различимы на изображении благодаря возможности обнаружения BSE.
Быстрая визуализация BSE: новый кристалл типа Out-Column BSED (OCD)
Благодаря использованию нового кристалла типа Out-Column BSED (OCD)* время получения изображения составило менее ОДНОЙ СЕКУНДЫ, при этом хорошо видны межслойные соединения нижних слоев и структура Fin FET в SRAM.
