Описание
Новая система FIB-SEM от Hitachi, NX9000, имеет оптимизированную компоновку для серийного секционирования с истинным высоким разрешением, что позволяет решать самые современные задачи трехмерного структурного анализа, а также анализа TEM и 3DAP. Система NX9000 FIB-SEM обеспечивает высочайшую точность обработки материалов для широкого спектра областей, связанных с передовыми материалами, электронными устройствами, биологическими тканями и множеством других применений.
— Колонна SEM и колонна FIB расположены ортогонально, что позволяет оптимизировать позиционирование колонны для трехмерного структурного анализа.
— Сочетание высокояркого источника электронов холодной эмиссии и высокочувствительной оптики позволяет анализировать широкий спектр материалов — от биологических тканей до магнитных материалов.
— Система микроотбора образцов и система тройного пучка позволяют проводить высококачественную подготовку образцов для ТЭМ и атомного зонда.
Ионное фрезерование и наблюдение при нормальном падении в режиме реального времени для получения истинных аналитических изображений
Колонна SEM и колонна FIB расположены ортогонально, что позволяет получать изображения поперечных сечений FIB при нормальном падении SEM.
Ортогональное расположение колонн устраняет аспектную деформацию, ракурсное искажение изображений поперечных сечений и смещение поля зрения (FOV) при серийной визуализации сечений, чего не могут избежать обычные системы FIB-SEM. Изображения NX9000 позволяют проводить высокоточный трехмерный структурный анализ. Оптическая корреляционная микроскопия может быть легко применена благодаря преимуществу поверхностно-плоскостной ЭМ визуализации.
Cut&See
Cut & See поддерживает высококонтрастную визуализацию биологических тканей, полупроводников и магнитных материалов, таких как сталь и никель, с высоким разрешением при низком ускоряющем напряжении.
