Описание
Системы FIB-SEM стали незаменимым инструментом для определения характеристик и анализа новейших технологий и высокоэффективных наноразмерных материалов. Постоянно растущий спрос на ультратонкие ламели TEM без артефактов при обработке FIB требует лучших технологий ионной и электронной оптики.
Высокопроизводительная FIB-система Hitachi NX2000 и система SEM высокого разрешения с уникальными технологиями контроля ориентации образца* и тройного пучка* обеспечивают высокую производительность и высокое качество подготовки образцов для ТЭМ для передовых приложений.
Высококонтрастное обнаружение конечной точки РЭМ в режиме реального времени позволяет готовить сверхтонкие образцы для ТЭМ устройств размером менее 20 нм.
Микроотбор проб* и высокоточный механизм позиционирования* позволяют контролировать ориентацию образцов для определения эффектов антисвертывания (функция ACE) и ламелей равномерной толщины.
Система тройного пучка* Конфигурация тройного пучка для уменьшения повреждений, вызванных Ga FIB.
— Третья колонна ионов Ar/Xe
— Система микроотбора образцов
— Система впрыска нескольких газов
— Система двойного наклона
— Функция поворота (для Ar/Xe-ионной 3-й колонки)
— Мастер подготовки образцов для ТЭМ
— Автоматическое программное обеспечение для подготовки образцов для ТЭМ
— Навигационное программное обеспечение CAD
— Программное обеспечение для связи с приборами для контроля дефектов
— Держатель для защиты от воздуха
— Охлаждающий держатель
— Плазменный очиститель
— Система EDS (энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия)
