Описание
Высокоточная, высокоточная цельнометаллическая фильтрация, разработанная специально для сборки в интегрированную газовую систему (IGS).
Компания Mott High Purity, которая на протяжении многих лет поставляет фильтры из пористого металла и ограничители потока для производства полупроводников, также предлагает эти же продукты в IGS-совместимой конструкции. Таким образом, теперь вы можете сочетать простоту установки, доступность компонентов, простоту обслуживания, сокращение времени сборки и совместимость компонентов, характерные для IGS, с преимуществами выбора и производительности, предлагаемыми исключительно компанией Mott.
Миссия компании Mott заключается в предоставлении клиентам уникальных решений по фильтрации и управлению потоком с использованием материалов, специально разработанных для сложных условий эксплуатации, эффективности 9 LRV и точного управления потоком. Наша полная линейка фильтров IGS и ограничителей потока разработана для совместимости с интерфейсами газовой системы, которые в настоящее время специфицируются для технологических инструментов, газовых шкафов и распределительных коробок в соответствии с SEMI 2787. По мере того, как возникли проблемы с конверсией в 300 мм, наша технология позволила найти необходимые решения.
Высокая скорость потока — Пористая металлическая среда обладает уникальными свойствами, позволяющими производить более широкий спектр потоков, материалов и конфигураций, чем у наших конкурентов. Такая гибкость в геометрии обеспечивает производительность фильтров до 100 оборотов в минуту при соблюдении требований отрасли к огибающей.
Полный спектр конфигураций продукции — Стандартные предложения двигателей IGS включают в себя 1,125-дюймовую конфигурацию с уплотнением C или W, а также 1,5-дюймовую версию с уплотнением C или W-образным уплотнением. У нас есть дизайн, который вам нужен.
