Description
Как максимизировать пропускную способность без ущерба для урожая.
Простым способом увеличения прохода инструмента без влияния на выходную мощность является увеличение скорости любых шагов, не связанных с фактическим образованием полупроводниковой цепи. Одним из таких шагов является сброс давления или вентиляция рабочей камеры, что создает положительное давление, препятствующее миграции частиц из чистой комнаты в камеру.
Вызов: Сожмите давление, не мешая при этом частицам
Камера является загрязненной средой, и давление может нарушить содержащиеся в ней частицы, что приведет к их падению на поверхность пластины. Задача состоит в том, чтобы как можно быстрее создать давление, но не создавать струи газа, которые могут мешать частицам.
Решение: Mott GasShield®, Диффузоры POU (Point-of-Use)
Мотор-пористый металл может значительно сократить время работы вентиляционного отверстия, время погрузочного замка без неблагоприятного воздействия струи, эффект, видимый через душевые лейки и простые 1/4", всасывающие линии. Пористый металл снижает скорость продувочного газа для обеспечения равномерного и ламинарного потока газа в камеру.
Альтернативы диффузору Mott создают потоки с одной или несколькими, возможно неламинарными, струями газа. Наши диффузоры, для сравнения, были протестированы на равномерную скорость потока до ±, 5% по всей поверхности.
