Description
Новое агломерационное оборудование SIN 20 разработано для поддержки НИОКР и институтов в налаживании, оценке и оптимизации процессов спекания.
В SIN 20 используется хорошо известная, одобренная и запатентованная компанией PINK эквилибрационно-вакуумная технология, основанная на техническом принципе выравнивания давления. Это позволяет проводить спекание в идеальной атмосфере N2, а также в восстановительной атмосфере, например, в муравьиной кислоте. Можно спекать как медные подложки, так и подложки с покрытием Au или Ag.
Гибкая система верхней оснастки (высокая сила Softtool или Hardtool)
Целевые применения:
— Закрепление матрицы на подложке и свинцовой раме
— Прикрепление подложки к базовой пластине
— Соединение вершин матриц
— Крепление мощных светодиодов
Герметичная технологическая камера
Технологическая зона:
— Спекание: до 100 x 100 мм
— Макс. высота изделия: 50 мм
— Мин. расстояние между изделиями: 0 мм
Система нагрева:
— Температура нагревательной плиты до 350 °C
— Отдельная зона охлаждения и нагрева
Система верхнего инструмента:
— Динамически адаптируемое усилие прижима от 1 кН до 200 кН
— Непрерывное усилие: 175 кН
— Динамически адаптируемое давление до 30 МПа с Softtool и до 60 МПа с Hardtool
— Динамически управляемые и контролируемые темпы изменения давления
— Скорость привода: вверх до 17,5 мм/с, вниз до 27,5 мм/с
Система контроля атмосферы:
— Точное управление атмосферой газа (N2, N2/O2, N2/H2, HCOOH)
— Диапазон атмосферного давления: 1 — 960 мбар
Управление процессом и пользовательский интерфейс:
— Свободно программируемые управляемые и контролируемые температура, атмосферное давление и профили давления
— Постоянный контроль процесса
Связь:
— Интерфейс Ethernet
— Удаленное обслуживание (VPN)
Низкое потребление энергии и технологических сред
Запатентованная на международном уровне система
