Поставки оборудования по России

3-осная система позиционирования портальная для контроля полупроводниковых пластин и метрологии

Описание

Индивидуальные решения для плоскопанельных дисплеевr
r
Наши решения в требовательной области FPD относятся ко всем процессам, от автоматического оптического контроля (AOI) до матричной обработки результатов измерений, полученных с помощью фотоспейсера. По всему миру мы установили более 800 систем. Некоторые из них произведены и собраны непосредственно в Азии.r
r
Для снижения полной стоимости владения компания SCHNEEBERGER разработала материал, заменяющий гранит: минеральное литье.r
Литая амортизирующая конструкция позволяет, например, снизить общий вес системы, благодаря чему снижаются затраты на погрузку и транспортировку.r
r
Узнайте больше о минеральном литье…r
r
Стандартные технические характеристики для «крупноформатных систем» в точке POI*r
Конфигурация: XYZ или + Z (подвижный портал)r
Длина хода: до 3500 x 2700 ммr
Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением)r
Повторяемость: ≤ 2 мкмr
Стабильность: ≤ 10 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp)r
Время перемещения и успокоения: < 500 мс на 300 ммr
Скорость Cst: < 0,01 % при скорости < 100 мм/сr
Прямолинейность: < 20 мкм на 3000 ммr
Плоскостность: < 20 мкм на 3000 мм

Детали

Бренд

SCHNEEBERGER AG Linear Technology