Description
Auto SE — спектроскопический эллипсометр, изготовленный компанией HORIBA Scientific. Он позволяет автоматически анализировать образцы тонкой пленки простым нажатием кнопки. Через несколько секунд формируется полный аналитический отчет, содержащий информацию о толщине, оптических константах, шероховатости поверхности и неоднородности пленки
Автоматический SE включает в себя автоматическую стадию XYZ, визуализацию места измерения в режиме реального времени и автоматический выбор размера пятна
Auto SE подходит для рутинного измерения тонкопленочных материалов и контроля качества устройства.
