Description
Датчик ZNX представляет собой бесконтактную систему измерения положения, основанную на принципе микрометрии емкости. Две пластины датчика (мишень и зонд) образуют параллельный пластинчатый конденсатор. Расстояние между этими пластинами может быть измерено с помощью соответствующего электронного контроллера с точностью до 0,1 нм, с диапазоном до 1,25 мм, частотной характеристикой до 5 кГц и линейностью до 0,02%. Поскольку датчик ZNX является бесконтактным методом, в нем отсутствует гистерезис. В точке измерения не рассеивается энергия.
— Точность измерения до пикометров
— Стабильность измерений
— Возможность настройки в соответствии с требованиями приложения
— Опции для широкого спектра применений
-Основные характеристики
Диапазон 20 ~ 1250 мкм,
Субнанометровое позиционное разрешение,
Нулевой гистерезис,
Погрешность линейности до 0,02%,
Полоса пропускания до 5 кГц,
Доступны условия Super Invar,
Опции, совместимые с вакуумом,
Погрешность линейности (%):<0,08, <0,08, <0,06, <0,05,
Короткий диапазон мкм: 20, 100, 250,
Длинный диапазон мкм: 50, 100, 500,
Аналоговый выход: ± 5, ± 5, ± 5, ± 5, 8,
Максимальная полоса пропускания: 5, 5, 5, 12,5 КГц.
