Description
Источник радиочастотных ионов Endeavor компании Denton разработан для работы без нити накаливания и использует одну вытяжную решетку. Поскольку поток электронов, извлекаемых из источника, достаточен для нейтрализации пространственного заряда ионного пучка и устранения дуги пространственного заряда в камере, этот ВЧ-ионный источник не требует вспомогательного нейтрализатора электронов, такого как горячая нить накала или полый катод.
Исследование и производство:
Оптические устройства
Фотоника
Магнитные и микроэлектронные устройства
Способность производить и управлять ионами с определенной энергией, химической реактивностью, плотностью тока и траекторией движения делает ионные источники эффективными инструментами для создания прецизионных пленок и поверхностей. Плотность, оптическое пропускание, равномерность критической толщины, гладкие поверхности, улучшенная адгезия и вертикальные боковые стенки — вот некоторые из востребованных свойств материалов, обеспечиваемых ионными источниками при осаждении тонких пленок.
Компания Denton предлагает ионный источник CC-106 собственной разработки. CC-106 — это источник постоянного тока с холодным катодом с широким лучом, предназначенный для ионного осаждения и процессов предварительной очистки с использованием кислорода или аргона.
Мы предлагаем новый источник ионов Endeavor RF без нити накала, который в настоящее время доступен на новых системах.
