Description
Система Infinity FA — это экономичное решение для травления и профилирования устройств с высокой пропускной способностью, обеспечивающее быстрые результаты при низкой стоимости владения. Она обеспечивает превосходную равномерность задержки и минимальные повреждения на больших площадях. Полностью интегрированный пакет SIMS обеспечивает точность, необходимую для обнаружения мелких дефектов для дальнейшего анализа. Использование нескольких технологий травления позволяет согласовать скорости травления различных компонентов одного слоя, обеспечивая равномерное удаление всего слоя независимо от химического состава.
Благодаря партнерским обязательствам компании Denton, инструмент Infinity FA обеспечивает качественную работу и высокое время безотказной работы системы. Наша международная сервисная команда предоставит вам надежный график профилактического обслуживания и оперативную поддержку для обеспечения наилучшей производительности и производственных результатов.
Анализ отказов полупроводников
Задержка
Повышение выхода продукции
Обратный инжиниринг
Анализ отказов микродисплеев
Система Infinity FA — это высокопроизводительный инструмент для травления, предназначенный для подготовки образцов для анализа отказов, профилирования критических тонких пленок и задержки в производстве полупроводников. Ионно-лучевое травление (IBE), реактивное ионно-лучевое травление (RIBE) и химически вспомогательное ионно-лучевое травление (CAIBE) используются для обеспечения равномерной скорости травления для слоев из нескольких материалов.
Система включает надежный пакет SIMS для анализа удаления тонких пленок. Она совместима с ESD и полностью управляется компьютером для высокой автоматизации и повторяемости. Масс-спектрометр вторичных ионов (SIMS) обеспечивает точный контроль конечной точки для отслоения полупроводниковых пластин и выявления дефектов с целью повышения производительности процесса.
