Description
Эта машина является полностью автоматической машиной для очистки пластин, автоматически управляется манипулятором в закрытой среде, имеет функции очистки и сушки, подходит для очистки различных материалов полупроводниковых подложек после полировки, и может эффективно уменьшить загрязнение частицами на поверхности пластин.
Полноценные функции
С функцией очистки и сушки, управляется манипулятором в закрытой среде, низкий риск, предотвращение вторичного загрязнения.
Простая операция
Управление с помощью сенсорного экрана PLC, манипулятор автоматически завершает процесс автоматической очистки вафель от кассеты к кассете.
Хорошая совместимость
Совместим с 2, 4 и 6-дюймовыми пластинами
Небольшая площадь
Минимизируйте площадь пола в чистой комнате.
