Описание
RapiTrim-C с ИК-лазером (1064 нм)
Долговечный, не требующий обслуживания волоконный лазер с воздушным охлаждением производит короткие импульсы с высокой пиковой мощностью для быстрой абляции резиста при минимальном повреждении подложки. Эта модель подходит как для толсто-, так и тонкопленочных материалов.
Усовершенствованное управление лазером и лучом в сочетании с запатентованной технологией высокоскоростного летающего зонда позволяет системам RapiTrim превосходить старые технологии как в крупносерийном производстве, так и в малосерийных операциях с высоким содержанием смеси. Контуры могут быть размером с саму подложку, а зондирование плотных конструкций не требует усилий, ранее для этого требовалось несколько проходов с несколькими картами датчиков.
Особенности системы включают:
Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя с операционным программным обеспечением ProSys
Усовершенствованные системы позиционирования луча и управления лазерным импульсом обеспечивают высокую производительность, точность и стабильность процесса
Высокоточная, высокопропускная система измерений в режиме реального времени
Функции автоматической калибровки обеспечивают воспроизводимое качество
Обширная системная диагностика постоянно контролирует все критические компоненты и производительность оборудования
Герметичная подача луча защищает оптику от попадания технологического мусора, продлевая срок службы компонентов
Сенсорный экран (размер Full HD)