Описание
Эта система может автоматически проверять и сортировать пластины для использования в производстве. Она имеет несколько интеллектуальных функций, таких как глубокое обучение, машинное зрение, оповещение о неисправностях и заводской интерфейс MES.
Производительность
Средняя производительность до 8500 пластин/час, проверенная в реальном массовом производстве
Расширяемость
Система может работать с носителями, загружающими от 25 до 150 пластин, и может быть интегрирована с устройством для очистки пластин
Эффективность
Двухъярусные лотки, сокращающие время работы рабочего
Преимущество
Быстрое послепродажное обслуживание и низкие эксплуатационные расходы
Точность
Высокоскоростные профильные датчики применяются для модуля измерения толщины, а камеры высокого разрешения используются для модулей контроля размеров и пятен для повышения точности контроля
Точность
Боковые стороны в направлениях X и Y проверяются для минимизации любого пропущенного обнаружения дефектов, микротрещины не могут избежать обнаружения благодаря точному контролю модуля микротрещин в направлении X.
