Description
Pinpoint от Prodrive Technology предлагает высокоточное решение для измерения положения в системах точного перемещения. Pinpoint идеально подходит для (вакуумных) стадий, где важна высокая надежность и длительная эксплуатационная готовность. Наше решение имеет суб-наносекундную задержку синхронизации и абсолютное измерение положения. Мы сочетаем это с бескомпромиссными возможностями цифровой интеграции для бесшовной синхронизации между системой измерения и системой управления движением. Оптический опыт Prodrive обеспечивает инновационные интерферометрические решения, сфокусированные на снижении TCO (совокупной стоимости владения) для наших партнеров по OEM-оборудованию, снижение прямой стоимости систем при одновременном снижении затрат на эксплуатацию и техническое обслуживание. На протяжении более двух десятилетий Prodrive Technologies является партнером по исследованиям, разработкам и производству для полупроводниковой промышленности. Сочетая этот опыт с нашей надежной системой управления качеством, мы понимаем, что требуется для реализации точного копирования и контроля изменений, поддерживая наши решения от концепции до окончания срока службы и далее.
Количество осей датчиков на MU — 1 — 6
Рабочее расстояние — 0 — 6000 мм
Скорость перемещения цели — 0 — 1 м/с
Разрешение датчика — 25 пм
Повторяемость датчика — 200 пм (в условиях вакуума)
Полоса пропускания измерений на ось — 40 МГц (оптическая)
5 МГц цифровой выход
Стабильность сигнала (2,5 с) — 0,1 нм
Тепловой дрейф — < 50 нм / C
Режимы измерения и особенности
Режим по умолчанию — одностороннее измерение относительного перемещения
Дифференциальное измерение — включено
Программное обеспечение функции наведения — Включено
Измерение абсолютного расстояния — Включено, 20с
Выравнивание датчика — вручную на головке датчика
Выравнивание цели — Видимый лазер (600 нм)
