Description
SCI-552 является системным контроллером для систем доставки озона, который обеспечивает электронные интерфейсы управления для ряда типовых компонентов системы, включая: генераторы озона, EV клапаны, регуляторы массового расхода, регуляторы обратного давления, датчики озона Teledyne API 452, датчики растворенного озона Teledyne API 470, а также охладитель воды.
SCI-552 оснащен аппаратной и программной поддержкой ряда функций системной блокировки. SCI-552 обеспечивает гибкость для конечного пользователя, позволяя управлять системой через пользовательский интерфейс на передней панели, последовательный интерфейс MODBUS или различные дискретные цифровые и аналоговые точки входа/выхода. SCI-552 предназначен для поддержки двух генераторов озона, обеспечивающих два независимых канала выхода озона.
Особенности
— Дистанционная поддержка RS-232 MODBUS
— Управление до 2 генераторов озона
— Интерфейс с 2 датчиками озона модели 452 и 470
— Управление до 4 контроллеров массового расхода
— Управление до 2 контроллеров противодавления
— Управление до 2 EV клапанов
— Контролировать охладитель воды
— Входы системной блокировки
— Удаленное управление на уровне системы и входы/выходы статуса
Заявления
Химическое осаждение из паровой фазы (ХОП)
— Осаждение атомных слоев (ALD)
— рост оксидов
— Кондиционирование поверхности
— Ashing
— Очистка от частиц
— Удаление фоторезиста
— Другие
