Описание
Включает обработку отжига контакта и субстрата GaN. Поддерживает вафли 6 дюймов и включает активацию и оксидацию в атмосферах нагрузк-замка environments/N2 вакуума (LP).
Особенности
Максимальная рабочая температура: 1,200°C
Поддерживает широкий диапазон размеров вафли до 6 дюймов.
Автоматический механизм замены вафли обеспечивает передачу кассет-к-кассеты.
Поддержка вакуума улучшает обжигая характеристики.
Поддержка нагрузк-замка N2 включает быстрое время оборота.
Субстраты GaN процесса консервной банки.
