Description
Индукция IWQ ALD нагрела печи трубки кварца находила много применений когда специализированный, высокотемпературным процессам нужно быть изолированным от нагревающих элементов. Материалы нагрели в печи IWQ имеют высокую степень очищенности в виду того что никакое химическое взаимодействие между будучи обрабатыванными тепловым источником индукции и материалом. Системы IWQ доступны в широком диапазоне размеров диаметр трубки в до 1 метр и ‑ 2 измеряет длинную отростчатую камеру. Энергия соединена в исходное сырье или через susceptor или сразу через перенос ионов. Индукция нагрела, печь трубки кварца может приспособить контролируемые атмосферы как уменьшение (водопод), окислять, инертный газ и вакуум так же, как защитить против агрессивных паров и химикатов на температурах до 2000 °C. Печи IWQ также предлагают высокую степень осевого и радиального единообразия температуры.
