Description
Позиционирование, манипулирование, обработка и измерение объектов и структур с нанометровой точностью
— самая точная в мире машина для нанопозиционирования и нанометрологии
— диапазон измерения и позиционирования 25 x 25 x 5 мм
— разрешение 0,1 нм
— самая высокоточная система 3D-позиционирования и измерения
— измерительные системы, например, датчики лазерной фокусировки, атомно-силовые микроскопы, датчики белого света, 3D микросканеры
— открытая архитектура устройства позволяет применять специализированные датчики
— управление NMM-1 осуществляется с помощью программного обеспечения для ПК. Доступен пользовательский API.
Нанопозиционирующая и наноизмерительная машина для трехмерных координатных измерений работает в диапазоне измерений 25 мм x 25 мм x 5 мм с разрешением 0,1 нм. Специальное расположение датчиков обеспечивает отсутствие аберраций по всем трем координатным осям. Измерительные оси трех миниатюрных интерферометров пересекаются практически в точке контакта измерительного датчика с измеряемым объектом.
Измеряемый объект лежит непосредственно на подвижном зеркальном углу. Положение зеркального угла определяется тремя неподвижными миниатюрными интерферометрами. Зеркальный угол позиционируется с помощью трехосевого привода. Два датчика угла используются для измерения и компенсации угловых отклонений во время позиционирования.
Свет от одного стабилизированного лазера передается от электронного блока к интерферометрическим головкам по оптическим волокнам. Это позволяет создать компактную и термостабильную конструкцию машины для нанопозиционирования и наноизмерений.
