Description
PEPS® II улучшает и развивает запатентованную компанией TMC систему PEPS® (Precision Electronic Positioning System). Благодаря добавлению нового цифрового контроллера, PEPS® II проще в использовании, предлагает больше функций и имеет улучшенный пользовательский интерфейс. PEPS® II — это цифровая бесконтактная система контроля высоты для пневматических систем виброизоляции TMC. Такие системы обычно включают механические клапаны высоты и механический датчик высоты. Области применения системы варьируются от оборудования для производства полупроводников для улучшения времени оседания и увеличения выхода продукции до прецизионных лабораторий, где требуются оптимальные шумовые характеристики и стабильность платформы.
Цифровое управление, удобный ЖК-интерфейс
-Бесконтактный электропневматический контроль высоты для систем виброизоляции Gimbal Piston™, CSP® и MaxDamp®
-Повторяемость положения по оси Z: 10 микрон
-Улучшенная виброизоляция благодаря отсутствию рычажного контакта традиционных механических систем управления высотой
-Функция пневматического форварда минимизирует реакцию оси Z на движение ступени X-Y
-Может быть настроен на быстрое устранение движения, вызванного X-Y этапами
-Опциональная функция «VX» включает в себя инерционные датчики для активного демпфирования резонанса вертикального изолятора
-Совместимость с «Soft-dock». Позволяет загружать/выгружать пластины без кинематического монтажа
-Пропорциональные электронные клапаны. Отсутствие импульсного шума, создаваемого «включением-выключением» или обычными электронными клапанами
-Вытяжная линия для чистого удаления отработанного воздуха
-Логический контроль и состояние дока
